样品的制备：
作为一种表面分析技术，STM适用于各种导电样品的表面结构研究。样品必须具有一定程度的导电性；
1、对于金属、半导体的样品材料，首先要对其进行抛光处理，然后在真空或者超真空条件下，对样品进行热处理（退火）、离子溅射轰击等处理，以便获得除去表面污物的平整的原子级表面晶面。
2、对于半导体，需要采用加热去氧化的工艺除去表面的氧化物。
3、对于绝缘体，首先要经过洗涤剂超声清洗、去离子水淋洗、热丙醇清洗和烘干，然后将样品在一定的真空度下镀上一层金。
4、对生物试样进行测试时，需设法将其固定到平整的导电基表面。常见的如液滴干燥法，制备十分简单。将生物试样稀释与0.1%甘油溶液中，再用移液枪滴到高序石墨（HOPG）表面上，在清洁的空气中自然干燥即可。
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