分析测试百科网

搜索

喜欢作者

微信支付微信支付
×

SEM知识点扫盲十二

2018.7.26
头像

JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

 38. 如何做好SEM的影像,一般由样品的种类和所要的结果来决定观察条件,调整适当的加速电压、工作距离 (WD)、适当的样品倾斜,选择适当的侦测器、调整合适的电子束电流。


  39. 一般来说,加速电压提高,电子束波长越短,理论上,只考虑电子束直径的大小,加速电压愈大,可得到愈小的聚焦电子束,因而提高分辨率,然而提高加速电压却有一些不可忽视的缺点:

  A. 无法看到样品表面的微细结构。

  B. 会出现不寻常的边缘效应。

  C. 电荷累积的可能性增高。

  D. 样品损伤的可能性增高。

  因此适当的加速电压调整,才可获得最清晰的影像。


  40. 适当的工作距离的选择,可以得到最好的影像。较短的工作距离,电子讯号接收较佳,可以得到较高的分辨率,但是景深缩短。较长的工作距离,分辨率较差,但是影像景深较长,表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。


互联网
仪器推荐
文章推荐