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在扫描电镜X射线能谱成分分析中,本文运用BASIC程序,计算了光滑样品和某些粗糙样品微区的表面倾斜角和X射线出射角。并对一个最多含有八种元素的混合样品,从各元素的浓度值计算了X射线强度值随出射角的变化。最后,就几何因素对峰比的影响进行了讨论。