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超纯水的水质一般用电阻率表示，电阻率的单位是MΩ.cm，水会因为离子的去除电阻增加，但电阻会随着水中只有H2O而不再升高，电阻率的极限是18.2MΩ.cm，它与电导率互为倒数关系。
电阻率会随着水温的升高而降低，我们通常水的18.2MΩ.cm的超纯水是在25℃时的数值，在25℃左右，一般温度每升高1°，电阻率下降0.84MΩ.cm，反之一样。
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