扫描电镜图像处理

当在观察某个深孔内部细节时，孔内是黑的，而周边衬度合适。起因是内孔产生的大量信号电子被孔壁吸收，只有小部分跑出达到探测器，这个弱信号按常规放大，人眼看不见。提高图象衬度和亮度，孔内细节如果能看清，其周边就过亮了、人眼对图像衬度的察觉是有限的。图象处理的目的就是在探测器的后续阶段、通过各种图象处理技术改善图象衬度，使其更适合人眼观察。图像处理有模拟法和数字法，其中包括直方图处理、衬度反转、微分放大、非线性放大(Y control)、信号混合、Y调制、降噪(noise ·eduction)等。非线性放大和降噪比较常用。

仍然以观察孔洞为例，通常由于二次电子边缘效应，造成空洞边缘很亮，而孔内又很黑，两处的细节均看不清。当选用某个非线性放大值后，为看清孔洞内细节而提高亮度时，孔的边缘亮度又被抑制，是放大器按了曲线处理信号的功能。

电镜是扫描成像，自然会有随机噪声叠加在图僚上，若帧扫时间短，噪声更严重，图上覆盖着不规则闪动的白点，细节看不清，有如“雾里看花”。对图像进行降噪处理可以滤除噪声。其方法有多种，如帧平均、像素平均、线积分、卷积滤波、卡尔曼滤波等。因为是计算机控制的实时处理，过程很快，所以使用时可根据图像细节任意选用，看哪种方法好。

图像处理是对图衬度、亮度或噪声进行加工，最后获得一幅人眼可以识别和接受的改善图像。应注意，如果样品本身的自然衬度不存在，或者细节清晰度不好，后期应用的各种处理技术均不会增加任何信息。