扫描电子显微镜的英文全称为Scanning Electron Microscope,简称扫描电镜或者SEM。扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成,具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。扫描电镜能用来做什么呢?请看小编下面的介绍吧:
一、观察纳米材料
尺寸在0.1nm-100nm范围内 扫描电镜重要特点是具有很高的分辨率
二、材料断口的分析
景深大,图象富立体感,焦深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。扫描电镜显示出来的断口形貌从深层次,高景深的角度呈现材料断裂的本质,在教学、科研和生产中,有不可替代的作用。
三、直接观察原始表面
直接观察直径80mm,高35mm,或更长尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙表面也能观察,这便免除了制样的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。
四、观察厚试样
其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和最真实的形貌。扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间,但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电镜观察厚块试样更有利。
五、观察各个区域的细节
其他方式显微镜的工作距离通常只有2-3cm,故实际上只许可试样在两度空间内运动,但在扫描电镜中则不同,可以让试样在三度空间内6个自由度运动,且可动范围大,这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大方便。
六、从高到低倍的连续观察
扫描电镜的放大倍数范围很宽(从30到15万连续可调),且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察,不用重新聚焦,这对进行事故分析特别方便。
七、观察生物试样
因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。同其他方式的电子显微镜比较,因为观察时所用的电子探针电流小,电子探针的束斑尺寸小,能量小,而且不是固定一点照射试样
以上就是扫描电镜的应用范围,由于扫描电镜具有上述特点和功能,所以越来越多受到科研人员的重视,用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于材料科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。