对于扫描电镜，较高的加速电压可以获得较好的分辨率，但由于电子束穿透样品较深，样品极表面的细节可能无法显现；低加速电压可以获得更浅表的细节，并且可以有效地减少对样品的损伤和荷电效应，甚至对于不导电的样品可以直接观察，但是牺牲了一些分辨率。二者互有优缺点。
减速模式在电子枪发射时使用较高的加速电压，只是在样品上附加一个反向的电场，使得电子束在即将到达样品的时候减速，使实际到达样品的电压减小至两千伏以下甚至几百伏。即保持了高加速电压的高分辨率，又实现了低加速电压有效地减少对样品的损伤和荷电效应的能力。
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