1、扫描电镜能够直接观察样品表面的微观结构,样品制备过程简单,对样品的形状没有任何限制,粗糙表面也可以直接观察;
2、扫描电镜样品在样品室中可动的自由度非常大,可以作三度空间的平移和旋转,这对观察不规则形状样品的各个区域细节带来了方便;
3、图象富有立体感。扫描电镜的景深是光学显微镜的数百倍,是透射电镜的数十倍,故所得到的图象立体感比较强;
4、扫描电镜放大倍数范围大,从几倍到几十万倍连续可调。分辨率也比较高,介于光学显微镜和透射电镜之间;
5、电子束对样品的损伤与污染程度小。由于扫描电镜电子束束流小,且不是固定一点照射样品表面,而是以光栅扫描方式照射样品,所以对样品的损伤与污染程度比较小;
6、在观察样品微观形貌的同时,还可以利用从样品发出的其它物理信号作相应的分析,如微区成分分析。如果在样品室内安装加热、冷却、弯曲、拉伸等附件,则可以观察相变、断裂等动态的变化过程。