20世纪70年代以来，扫描电镜的发展主要在：不断提高分辨率，以求观察更精细的物质结构及微小的实体以至分子、原子;研制超高压电镜和特殊环境的样品室，以研究物体在自然状态下的形貌及动态性质;研制能对样品进行综合分析(包括形态、结构和化学成分等)的设备。
截止到目前，科学界已成功研制出的设备有典型的扫描电镜、扫描透射电镜(STEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、冷冻扫描电镜(Cryo-SEM)、低压扫描电镜(LVSEM)、环境扫描电镜(ESEM)、扫描隧道显微镜(STM)、扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)等，以及多功能的分析扫描电镜(即电镜带上能谱仪、波谱仪、荧光谱仪、二次离子质谱仪和电子能量损失谱仪等，既能作超微结构研究，也能作微区的组分分析，即作定性、定量、定位分析)。由电镜衍生出电子探针和离子探针。
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