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扫描电镜分析有哪些特点？

2019.12.13
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guoliming

致力于为分析测试行业奉献终身

（1）10-30mm的试样，制样简单；
（2）场深大、适于粗糙表面和断口，图像富有立体感和真实感；
（3）放大倍率变化范围大15倍～20万倍；
（4）分辨率：3-6nm；
（5）可用电子学方法、控制和改善图像质量；
（6）可多功能分析（微区成分、阴极荧光图像和阴极荧光光谱、晶体管或集成电路的PN结及缺陷）；
（7）可动态分析（加热、冷却、拉伸等）。

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