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扫描电镜的成像原理是什么?

2019.12.17
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guoliming

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扫描电镜的成像原理
扫描电镜是由电子枪发射并经过聚焦的电子束在样品表面扫描,激发样品产生各种物理信号,经过检测、视频放大和信号处理,在荧光屏上获得能反映样品表面各种特征的扫描图像。
扫描电镜构造:
1.电子光学系统
2.信号收集和图像显示系统、
3.和真空系统


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