扫描电镜的特点和功能

扫描电镜是一款使用高亮度灯丝的高分辨台式扫描电镜。放大倍数 130，000倍，用于观察纳米或者亚微米样品的微观结构，基于高亮度灯丝和全新的聚焦系统的分辨率轻松达到14nm，同时具有全自动 操作，15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。

（1）高分辨率台式扫描电镜体型小巧，占用空间小；

（2）强大的软件功能，单窗口操作界面让用户操作方便简单；

（3）软件实现检测图形实时存储；

（4）高分辨率台式扫描电镜产品结构设计简洁，易于维护及保 养；

（5）自动平台采用中心定位模式，迅速定位待测样品；

（6）高低压真空设计，可调式电压，为不同样品提供更合适的检测环境。

扫描电镜可用于测量亚微米或纳米尺度的样品；从试表面形貌获得多方面资料，在扫描电镜中，不仅可以利用入射电子和试样相互作用产生各种信息来成象，而且可以通过信号处理方法，获得多种图象 的特殊显示方法，还可以从试样的表面形貌获得多方面资料。因为扫描电子象不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。因而使得高分辨率台式扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分 析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。

由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器 件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。