扫描电镜信号出射深度或信号从样品表面发射的面积大小,决定了扫描电镜探测样品信息的空间分辨率。电子束样品相互作用区和被测信号取样区这两个概念对于图像解释和定量x射线显微分析都很重要。
1)平均原子序数Z ,原子序数高作用区越小;
2)束电子能量Kev ,束电子能量越低,作用区越小;
3)倾斜角度θ,倾斜角越大作用区越小
在精细电子显微分析中,往往通过蒙特卡洛模拟来判定电子束样品作用区及各种散射信号取样空间。
当使用高束能量,由于作用区增大,SE的绝大部分是SE2/3,30nm碳膜表层SE1信号反差已经微不足道,电子束成像就几乎无视其存在了,因此图像变得透明,直接看到下面光栅。这种效应可以称为电子束穿透成像效应。
采用3kv、5kv、10kv、15kv、20kv、25kv、30kv,更为连续的加速电压,观察金属表面碳物质附着物,印证电子束穿透成像效应。
图像解释:
3-5kv下表现出良好碳质结构形态,此时电子束的穿透深度大约为500nm ~ 1微米 ,不足以穿透样品且碳质结构表面SE信号为反差主导。
10kv,电子束穿透深度大约为2微米,应该没有穿透中心的炭黑部位,此时SE2/3为主导,几无形貌反差,成分反差明显。
15kv以上,电子束开始穿透碳黑部位,SE2/3为反差主导,且基底的BSE出现一定形貌反差,加速电压越高,来自基底的SE2/3主导反差越来越高,越来越无视炭黑存在。