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台式扫描电镜中加速电压与分辨率关系

2019.12.23
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guoliming

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台式电镜与传统电镜一样，加速电压越高，分辨率越好。任何东西都有两面性，加速电压越高，样品表面细节丢失越多，所以你会发现在观察样品过程中几乎不用设备的极限加速电压（除了为了测分辨率）。现在扫描电镜趋势是，低加速电压，高分辨率。无图无真相，请看使用荷兰 Phenom 飞纳台式扫描电镜，不同加速电压下的照片。

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一味追求高加速电压高分辨率其实没有意义，高加速电压下会损失样品表面一部分细节，低加速电压下，则能看到样品表面更真实的形貌。因此，在购买扫描电镜时，分辨率参数这一项上可以看看实现该分辨率的加速电压是多少，如果是 30 Kv, 如此高的加速电压会不会损伤样品，或造成样品表面细节确实。现场调研时，多试试几档加速电压，尤其在低加速电压下，您会获得意想不到的结果。

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