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影响等离子体温度的因素

2020.3.30
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王辉

致力于为分析测试行业奉献终身

载气流量：

流量增大，中心部位温度下降；

载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加；

频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其他条件相同时，增加频率，放电温度降低；

第三元素的影响：引入低电离电位的释放剂（如T1）的等离子体，电子温度将增加。

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