文件名 | 题目 | 状态 | 简介 |
ISO14644-1 | 通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类 | 2015 | 涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类 |
ISO14644-2 | 监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据 | 2015 | 指定监控和定期测试洁净室或洁净区的要求，以证明其继续符合ISO14644-1 |
ISO14644-3 | 测试方法 | 2005 | 指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法 |
ISO14644-4 | 设计、建造和启动 | 2001 | 指定洁净室安装的设计和构造要求 |
ISO14644-5 | 运营 | 2004 | 指定洁净室运行的基本要求 |
ISO14644-7 | 分离装置（清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境） | 2004 | 指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求 |
ISO14644-8 | 按化学物浓度（ACC）分类的空气洁净度 | 2013 | 涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物（AMC）的分类 |
ISO14644-9 | 通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类 | 2012 | 通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类 |
ISO14644-10 | 按化学物浓度对表面清洁度进行分类 | 2013 | 根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统 |
ISO14644-12 | 通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南 | 2018 | 根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测 |
ISO14644-13 | 对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度 | 2017 | 用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度 |
ISO14644-14 | 根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性 | 2016 | 指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法 |
ISO14644-15 | 通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性 | 2017 | 将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南 |
ISO14644-16 | 提高洁净室和净化设备能效的实施指南 | 2017（在编） | 为新建和现有的洁净室、洁净区和分离设备提供优化能源使用和保持能源效率的指导和建议 |
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