纯水系统一般指经过各种水处理工艺和水质监测体系来到到达纯化水的意图的一类装置。天然水中常见杂质包含可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等。超纯水机便是要尽可能彻底地去处这些杂质。
现在常用净化水质的工艺办法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等。超纯水机一般能够将水的纯化过程大致分为4大步，预处理（初级净化）、反渗透（出产出纯水），离子交换（可出产出18.2MΩ.cm超纯水）和终端处理（出产出契合特殊要求的超纯水）。
预处理由于预处理后的水将经过反渗透进行再一步的净化，所以一定要尽量去除对反渗透膜有影响的杂质；首要包含大颗粒物质、余氯以及钙离子镁离子。 为很好的处理这一问题，设计精细过滤器、活性碳吸附过滤器以及软化树脂针对性地去除水中大颗粒物质、余氯以及钙离子镁离子到达zui佳的预处理作用。
反渗透是运用一个高压泵对高浓度溶液提供比渗透压差大的压力，水分子将被逼经过半透膜到低浓度的一边，反渗透能够滤除90%-99%的包含无机离子在内的绝大多数污染物，由于它拔尖的纯化功率，反渗透是水纯化体系的一个非常有用的技术，由于反渗透能去除大部分的污物。
离子交换便是水中的正离子与离子交换树脂中的H+ 离子交换，水中的负离子与离子交换树脂上的OH-离子交换，从而到达纯化水的意图。经过离子交换去除离子，理论上简直能除去所有的离子物质，在25℃时，出水电阻率到达18.2MΩ。cm。经离子交换出水水质的凹凸首要取决于离子交换树脂的质量和交换柱内水与树脂的交换功率。
终端处理首要依据客户的特殊要求出产出超低有机型、无菌型、无热源型等的超纯水。针对不同要求有多种处理方式，如超滤过滤法用于去除热源，双波长紫外氧化法用于下降水中总有机碳（TOC），微滤去除细菌等。超滤（UF）薄膜则是一个分子筛，它以尺寸为基准，让溶液经过极细微的滤膜，以到达分离溶液中不同巨细分子的意图，可将超纯水中的热源含量降至0.001EU/ml以下。双波长紫外氧化法可利用光氧化有机化合物，将超纯水中的总有机碳浓度下降至5ppb以下。
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