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解析钎料的电子迁移现象(三)

2020.10.05
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王辉

致力于为分析测试行业奉献终身

前面已介绍,倒装片流入的平均电流值大致为10^4A/cm2。由此可知,缺陷的形成集中在电流密度高的部分。这里作为化合物的生长的例子,如图6所示。Cu配线电流密度高的左侧部分几乎消失,而其化合物的生长却很显著。

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图6 Pb3Sn的倒装片接续部生成的电子迁移 (2.55×10^4A/cm2,155℃)

倒装片接续部空隙的形成如图7所示。由于电流密度高的部分Sn扩散在晶格中形成空穴,这些空隙的成长首先在球的一侧开始,然后沿着电极界面向横的方向进行扩展,如图8所示。这时电流的流动路线也跟着转移,电流全集中在右侧流过。就时间来说,在37h之前空洞的发生不是非常明显的。然而在其之后空隙便急速发展,仅数小时便可波及接续面的全部。

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图7 SnPb接续部在125℃时空隙的生长(2.25×104A/cm2)(a)37h,(b)38h,(c)43h

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图8 倒装片电子扩散时空隙的生长机理


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