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分子束外延要点解析

2021.4.14
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  一、分子束外延 (Molecular Beam Epitaxy,MBE)简介

  在超高真空环境下, 使具有一定热能的一种或多种分子 (原子) 束流喷射到晶体衬底 ,在衬底表面发生反应的过程,由于分子在 "飞行"过程中几乎与环境气体无碰撞 ,以分 子束的形式射向衬底 ,进行外延生长, 故此而得名。

  属性: 一种真空蒸镀方法

  始创: 20世纪70年代初期,美国Bell实验室

  应用: 外延生长原子级精确控制的超薄多层二维结构材料和器件(超品格、量子阱、调制掺杂异质结、量子阱激光器 、高电子迁移率晶体管等) ;结合其他工艺,还可制备一维和 零维的纳米材料(量子线、量子点等)。

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