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分子束外延(MBE)

2021.4.14
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  分子束外延设备有很多种。但就其主要结构而论是大同小异的。分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂,要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器。从MBE技术的发展过程看,当初主要是为开发以GaAs为中心的Ⅲ-V族化合物半导体,而后是针对Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体,最近正转向针对Si半导体器件的应用开发。从MBE装置的角度看,逐步从单纯研究用装置向批量生产用装置进展


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