等离子体光谱仪用于测定各种物质中的常量、微量、痕量元素的含量。该仪器具有高效、抗干扰型强、自动化程度高、操作简便、稳定可靠、测试范围广、分析速度快、检出限低等特点。
等离子体光谱仪的特点：
光学系统：全新竖式光室设计，全封闭驱气型，采用精密温控恒温系统，高能量中阶梯光栅石英棱镜交叉色散内光路，波长和级次二维色散，所有光学元件均使用全反射球面镜，保证高光通量和低图象失真。
光栅：采用超高分辨干涉刻制技术，52.91条/mm，63.5闪耀角。
棱镜：交叉色散，采用双通过设计确保成像质量，9.5角，超纯紫外熔融石英。
波长覆盖：166-847nm全波长覆盖，Al 167.120nm测试可获得更高紫外灵敏度，对于K 766.490nm和Na 818.326nm长波同样性能优异。
焦距：383nm，紧凑型光室。
检测器：
新一代RACID86电荷注入式检测器是高性能的固体成像系统。热电的CID是能够传输高反差/低噪音图象的加强型电荷传输器件，它可以对分析范围内的所有波长进行定性定量，而决无电荷溢出现象；
检测器模式：随机读取积分；
经选择的分析波长以zuì佳信噪比的方式同时积分，这样光所产生的电荷量可以保持在CID的线性范围内。它是利用了CID所独有的非破坏性读取(NDRO) 功能而获得的。NDRO 允许观测任意曝光点的任何像数单元上的信号。在这种方式下，像数与像数之间的读出频率随着发射强度的实时观测而各不相同，因而得到zuì宽的动态范围线性；
阵列尺寸：291,600个独立寻址检测单元，540×540阵列连续覆盖所有可用波长；
量子化效率：200nm紫外区可达65%以上；
石英窗：前置成角度封闭式石英窗，提高CID可靠性并降低杂散光；
检测器冷却：高效三级半导体制冷，制冷温度-45℃，冷却时间小于3分钟，气体和冷却水安全连锁。
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