扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是一种大型精密仪器，主要结构包括电子光学系统、信号收集、图像显示和记录系统、真空系统，是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
扫描电镜分类方法：
1、按照电子枪种类分：钨丝枪、六硼化镧、场发射电子枪(冷场发射、热场发射);
2、按照样品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、环境模式(冷热高压低压等等);
3、按照真空泵分：油扩散泵、分子泵;
4、按照自动化程度分：自动、手动;
5、按照操作方式分：旋钮操作、鼠标操作;
6、按照电器控制系统分：模拟控制、数字控制;
7、按照图像显示系统分：模拟显像、数字显像。
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