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白光干涉3D表面轮廓仪简介

2021.6.25

coco5517

认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

　　白光干涉3D表面轮廓仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2018年9月17日启用。

　　技术指标

　　1、白光干涉垂直扫描技术要求：垂直扫描范围：0-150m（压电陶瓷扫描）纵向分辨率：0~150um范围内≤0.1nm

　　2、扩展扫描范围：150um~15mm（步进电机扫描）

　　3、基于2技术要求的全部范围和条件下，测试能力要求达到：可测量超光滑表面，Ra测试精度≤0.1nm，可测量表面类型：透明、不透明；镀膜、非镀膜；反射、低反射。

　　主要功能

　　测量显示样品二维或三维形貌，测量粗糙度，测量台阶高度。

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