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DS能谱打点要求高的计数率，定量才准。而为了高的计数率，需要选择高的加速电压。加速电压越大，相对原子质量越小，打得梨形区深度越深，最深5微米，所以基本上1微米打薄层定量就不准，并且EDS 非准确定量工具，它是快速定量准确的工具，讲究的是快速，定量并不准确
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