多功能X射线光电子能谱仪是一种用于物理学、生物学、基础医学、临床医学领域的分析仪器，于2018年1月22日启用。
技术指标
1. 分析室真空度：5×10-10 mbar
2. 最佳能量分辨率：0.43eV
3. 最小空间分辨率：1μm
4. Ag的3d5/2峰半峰宽为1eV时电子计数率可达4Mcps
5. 检测器： 双探测器设计，分别采用多通道电子倍增器进行获谱，采用二维微通道版探测器进行快速水平成像。
6. 带有紫外光电子能谱功能，当能量分辨率为100meV时，灵敏度可达1,000,000cps。
主要功能
X射线光电子能谱仪可提供富有特色的表面分析手段。主要可用来对材料表面10nm范围内的元素及元素的化学态进行定性定量表征，并通过深度剖析的方法可以实现对材料在深度方向的化学组分分布进行研究。
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