1、定期清洁真空室并尽量抹干，每次都彻底洗干净，以免造成越来越难洗的现象。烘干后再镀膜，头一炉应比原来延长四倍时间才镀膜。
2、定期更换扩散泵油，更换真空泵及罗茨泵油。更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1X102Pa，扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后，方可进行加热或充大气进行拆卸，否则会产生伤害人的严重后果。
3、平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中。
4、经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂。
5、定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元器件。
6、在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是：先将整个真空系统抽至真空状态，注意不要加热扩散泵，用手动打开精抽阀，然后按放气阀按钮让系统充入大气，当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。
7、停旋片泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，污染真空管道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换。
8、对于偏北地区，在寒冷季节，夜间和较长时间停机时，必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体，以免冻裂冷却水管（套）和泵体。
9、精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作，若在过高的压强下进行抽气，会使扩散泵油氧化，降低抽气能力，缩短泵油的使用寿命。
10、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境，滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外，因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的油雾会污染被镀的工件，严重影响膜层的质量。
11、在工作过程中不得断水，采用的冷却水必须清洁，不得使用硬水或浊水作为冷却水，否则会使冷却水管沉积一层水垢，影响冷却效果。
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