技术指标
电子枪蒸发源：一把成都金雅客公司电子枪，6孔坩埚，每孔40cc容量，电子枪位于真空室下部；电子枪冷却水流量监测，互锁保护，自带自动预熔功能、实现膜厚仪自动控制电子枪镀膜，操作更方便。 电阻蒸发：2组蒸发电极，兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝，带有自动档板。1台以色列产TDK蒸发电源功率：1.44KW,切换2组源蒸发。 有机蒸发源：6组有机蒸发源，配套6组坩埚。 6台有机蒸发电源，配备实时显示坩埚温度。 工件架（自转 水冷）：设备配有自转电动工件盘，一次性放置最大不超过150*150mm样品一片。配有单转轴空心磁流体密封，样品台水冷。高扭矩电机和控制器，转速0~30RPM可调。
首页
