ICP质谱仪的解析大致步骤如下：
1、确认分子离子峰，并由其求得相对分子质量和分子式；计算不饱和度。
2、找出主要的离子峰（一般指相对强度较大的离子峰），并记录这些离子峰的质荷比和相对强度。
3、对质谱中分子离子峰或其他碎片离子峰丢失的中型碎片的分析也有助于图谱的解析。
4、用MS-MS找出母离子和子离子，或用亚稳扫描技术找出亚稳离子，把这些离子的质荷比读到小数点后一位。
5、配合元素分析、UV、IR、NMR和样品理化性质提出试样的结构式。将所推定的结构式按相应化合物裂解的规律，检查各碎片离子是否符合。若没有矛盾，就可确定可能的结构式。
6、已知化合物可用标准图谱对照来确定结构是否正确，这步工作可由计算机自动完成。对新化合物的结构，结论要用合成此化合物并做波谱分析的方法来确证。
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