俄歇电子能谱表面元素分布分析 , 也称为俄歇电子能谱元素分布图像分析。它可以把某个元素在某一区域内的分布以图像方式表示出来 , 就象电镜照片一样。只不过电镜照片提供的是样品表面形貌 , 而俄歇电子能谱提供的是元素的分布图像。结合俄歇化学位移分析 , 还可以获得特定化学价态元素的化学分布图像。俄歇电子能谱的表面元素分布分析适合于微型材料和技术的研究 , 也适合表面扩散等领域的研究。在常规分析中 , 由于该分析方法耗时非常长 , 一般很少使用。把表面元素分布分析与俄歇化学效应相结合起来 , 还可以获得元素的化学价态分布图。
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