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将无极放电灯置入微波谐振腔 内，在微波电场的作用下首先将灯中充填气体加热，形成高温等离 子区，然后含有待测元素的原子或其化合物（卤化物）的填料也被 加热蒸发进入等离子区，这些填料在高温等离子区中被原子化并被 激发而发射出含有待测元素的特征原子谱线的光辐射。
因此在无极 放电灯的激发过程中，发光颜色会发生变化，首先看到的是充入气 体的发射光谱，然后随着待测元素或化合物的蒸发进入等离子区，再逐渐过渡到待测元素的光谱。如Hg无极放电灯，刚开始激发时 发光呈浅红色，等完全激发后就呈蓝白色。
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