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FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微纳加工。SEM是电子束成像原理.FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.