工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离,但是由于每次放入不同样品的高度不一样,每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同,这均使得WD发生变化。所以,操作扫描电镜时,需要做的第一件事就是先粗略地标定WD,方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像,根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD,而后,你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意,调节WD是要靠机械马达,而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件,相比之下,前者是粗调,后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时,该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。