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电子能谱仪是利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量的仪器。电子能谱仪可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素，还可研究原子的状态、原子周围的状况及分子结构，在表面化学分析、分子结构、催化剂、新材料等研究领域中已得到应用。
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