芯片废水分类
将生产废水处理分为：含氨废水处理系统、含氟废水处理系统、CMP研磨废水处理系统及酸碱废水处理系统
处理工艺
3.1 二级反应+一级助凝十一级沉淀，系统出水氟离子浓度基本达到<Zomg/L要求;若增加一级沉淀，即用二级反应+沉淀+一级反应+沉淀的两阶段沉淀反应，系统出水氟离子浓度可控制在10mg/L以下。
3.2 浓氨吹脱吸收工艺—含氟废水两阶段沉淀工艺(含氟废水与CMP研磨废水混合处理)—三级酸碱中和处理工艺。
3.3 两级反应池、酸碱原液直接投加，运行出水不稳定且药剂消耗量很大。
3.4反冲洗过滤器，是一种利用滤网直接拦截水中的杂质，去除水体悬浮物、颗粒物，降低浊度，净化水质，减少系统污垢、菌藻、锈蚀等产生，以净化水质及保护系统其他设备正常工作的设备。经反冲洗过滤器处理后的水质不但达到了国家规定的废水排放标准，经反冲洗过滤器处理后的水源可重复、循环利用有效的节省了水资源。
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