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当α 、β、γ或X射线作用于样品时,由于库仑散射,轨道电子吸收其部分动能,使原子处于激发状态。由激发态返回基态时发射特征X射线,根据此特征X射线的能量和强度来分析元素的种类和含量。其灵敏度很高,用途很广。