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扫描电镜对样品表面的平整程度要求不高,如果不导电的话需要喷金或者喷碳使其导电即可。扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像