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EDX,全称Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy,能量色散X射线光谱仪,EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的;
根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。
通常EDX结合电子显微镜使用,可以对样品进行微区成分分析。