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一般的能量色散荧光谱仪的测量对象主要是中高序数元素，对于轻元素的测量需要专门的设计，因为空气中存在C，O等元素，考虑到对定量分析过量干扰及对荧光的吸收，所以要想测轻元素需要真空环境，也就是将样品放入后需要专门的抽气机将其抽成真空，故用作测量轻元素的EDXRF体积较大，一般携带不便。单是也有人开发出这种功能的探测器，据我所知成都理工大学有一篇硕士毕业论文就是轻元素EDXRF设计，他还制作出了样品机。一般便携式的都没有测轻元素的功能。
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