EDS分布图完成后会自动出来结果。
面扫描是反映元素在样品表面的分布状态的手段。一张图代表某一个元素的分布，可以用不同的颜色来表示，越亮的地方就代表该元素的含量越高。也可以几张图混合起来，也可以跟电镜图像叠加。每个图谱中都有亮点和黑暗的地方，他们应该是不同的元素，一个图谱就是一种元素，要把这些图谱和SEM照片结合起来分析。
拓展资料：EDS使用X射线能谱仪进行成分分析时，一般有三种基本的工作方式，分别为：定点分析、线扫、面扫。根据不同的测试目的，可以选择相应的分析模式。当测试样品为非均质样品时，可以使用线扫、面扫得到非常直观的结果。
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