扫描电子显微镜和能谱仪分别检测什么信号

2023.8.31

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扫描电镜通过不同的探测器和附件可以检测多种信号，如二次电子信号、背散射电子、阴极荧光、特征X射线等。能谱仪是扫描电镜众多附件中的一种，是用来接收元素特征X射线，用来对样品内元素做半定量分析。

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