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电子探针一般对样品表面抛光质量要求较高,在尺寸方面也有要求。具体制样要求如下:(1)光、薄片尺寸:薄片大小为 48.0±5mm x 26.0±5mm,光片大小为直径≤29mm的圆形光片(2)表面平整洁净。对表面不清洁的样品,需进行精细抛光。(3)抛光后或不需抛光的薄片,需要送样人用炭素笔在薄片上圈定大概分析位置并标出之间路径,以便在电镜下查找。注,圈定时不要用手指触摸薄片表面,以免污染。(4)圈定位置后将光、薄片交于实验室人员,进行喷碳处理。