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二次离子质谱法的简介

2022.4.26
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zhaoqisun

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二次离子质谱法是指当初级离子束(Ar+,O2+,N2+, O-,F-,N -或Cs+等) 轰击固体试样表面时,它可以从表面溅射出各种类型的二次离子,利用离子在电场,磁场或自由空间中的运动规律,通过质量分析器,可以使不同质荷比的离子分开,经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法。

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