分析测试百科网

搜索

分析测试百科网 > 行业资讯 > 微信文章

制造手机,究竟需要多纯的水?

珀金埃尔默
2021.4.15

我们的日常生活中已经离不开手机。

手机由CPU、内存、屏幕、摄像头、电池、传感器等很多部件组成,其中CPU是整台手机的控制中枢系统,是手机的“芯”。不管是华为的麒麟系列处理器,还是苹果的A系列处理器,这些手机芯片,都是建立在大规模集成电路基础上的。

随着手机不断发展,要求运算速度更快、发热更小、功耗更低,手机芯片的制程尺寸就要求越来越小,现在已经进入到5nm甚至更小尺寸的时代。越小尺寸的芯片越需要使用纯度更高的材料,包括水。

手机芯片制造过程中,会大量使用到水,用于晶片冲洗和化学浴中化合物的稀释。

和我们日常饮用水的要求不同,手机芯片需要使用超纯水。

超纯水,到底要求有多高呢?

根据SEMI F63-0918《半导体加工中超纯水使用指南》,除B(50ppt)和Ni(3ppt)外,26种金属污染物的目标值应小于1ppt。比GB5749-2006《生活饮用水卫生标准》中,规定的铅限量值0.01mg/L,低了1万倍。如果按照一个标准游泳池按照长50米,宽25米,深2米计算,那么相当于400个游泳池里才允许有1克金属污染物。

这么低含量的金属杂质如何才能准确的检测呢?

要在短时间内测定出此类具有如此低含量的元素,唯一可选的技术即为电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)。

NexION 5000是业界首款化学高分辨多重四极杆ICP-MS,由四组四极杆组成,其性能超越了高分辨ICP-MS和传统的三重四极杆技术,无论是在背景等效浓度还是在检出限,NexION 5000都有数量级上的改善。

对于超纯水的所有分析均采用NexION 5000 ICP-MS在标准配置下进行,仪器参数如下表:

对于BEC和DL的测定,使用10、20、40和60ppt标准建立校准曲线。所有曲线的线性回归值(r2)均大于0.999,这表明分析的线性度好,能够在低浓度下准确测定,并且能够有效消除干扰。下图分别示出了“标准MS/MS”模式、“反应(NH3)MS/MS”模式和“反应(O2)质量转移”模式下的四种典型校准曲线。 

下表为超纯水中26种基本元素和非基本元素的DL和BEC(均以ppt表示)。

NexION 5000化学高分辨多重四极杆ICP-MS,可以轻松达到半导体行业用超纯水中无机元素的SEMI或ASTM要求,具有卓越的消除质谱干扰和痕量元素检测能力。

想要了解更多详情,

For The Better

关注我们,一起让世界变得更美好

发布需求
作者
头像
仪器推荐
文章推荐