11月23号布鲁克纳米表面仪器部网络直播研讨会

11月23号布鲁克纳米表面仪器部研讨会

时间                 网络课堂主讲

10:00

讲座1：原子力显微术与白光干涉技术在化学机械抛光（平坦化）工艺研发中的应用

黄鹤  博士

11:00

讲座2：化学机械抛光的工艺和应用研究进展

魏岳腾 博士14:00

讲座3：原子力显微镜与超高分辨率光学显微镜的联用

郭鑫 博士

15:00

讲座4：大样品台纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR的应用

讲座1

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讲座2

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讲座3

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讲座4

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讲师简介

布鲁克资深应用经理

黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理。他服务于工艺设备和测量仪器行业近20年，尤其在半导体、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验，是一名材料学博士。黄鹤博士在西安交通大学对减摩耐磨镀层材料如碳膜、氮化钛、钛铝氮等镀层的摩擦磨损性能测试评定开展研究，在香港理工大学利用纳米压痕技术对立方氮化硼（CBN）和类金刚石（DLC）等超硬薄膜开展研究。

布鲁克高级应用及系统工程师

郭鑫博士，2018年博士毕业于南京大学化学化工学院，期间致力于DNA纳米结构的高分辨率成像，具有近10年AFM使用经验。

2018年加入布鲁克纳米表面仪器部售后部门任高级应用及系统工程师。

布鲁克资深应用科学家

魏岳腾博士，现任布鲁克（北京）科技有限公司资深应用科学家，主要从事材料表面多尺度表征技术开发。毕业于清华大学，后在中国科学院从事科研工作，研究领域涉及新材料的研发和应用。加入布鲁克以后致力于先进材料领域的表面表征技术开发应用，在包括半导体、显示技术、MEMS、汽车和光学等领域有丰富的分析测试经验。

布鲁克高级系统及应用工程师

刘曜纶博士于2018年毕业于天津大学精密仪器与光电子工程学院，仪器科学与技术专业，取得工学博士学位。博士期间主要从事金属薄膜的近场光学效应研究，拥有8年原子力显微镜使用经验。在2018年加入布鲁克纳米表面仪器部，担任高级系统及应用工程师，主要负责纳米红外光谱仪和原子力显微镜的售后技术支持工作。

讲座摘要

讲座一：原子力显微术与白光干涉技术在化学机械抛光（平坦化）工艺研发中的应用

化学机械抛光（平坦化）作为半导体前道工艺关键环节受到业界和学界越来越多关注。其中，原子力显微术和白光干涉技术等各种表面显微表征手段，被广泛用于对各种材质抛光后表面形态的观察和表面粗糙度的量化，以及表面缺陷、残留的分析。本次讲座将从被抛光材料、材料移除率与抛光液、缺陷控制等多方面切入，探讨原子力显微与白光干涉是如何为材料研发、工艺优化与良率提升做出一份贡献的。

讲座二：化学机械抛光的工艺和应用研究进展

化学机械抛光（平坦化）作为一种快速全局平坦化的有效手段，除了在传统半导体材料中获得应用以外，在半导体领域的各种新材料，甚至传统领域的加工过程中都获得学术界越来越多的关注。一方面化学机械抛光过程的各种影响因素被广泛研究，包括抛光液、抛光垫、电场、高频振动等，用于理解并指导实际工艺过程的优化；另一方面化学机械抛光也被引入到各种加工要求较高的领域中，用于制备多种新材料和新结构。

讲座三：原子力显微镜与超高分辨率光学显微镜的联用

超高分辨率荧光显微镜在2014年获得诺贝尔化学奖，突破了光学衍射极限，分辨率达到了纳米级别。原子力显微镜自从1980年代发明以来，由于分辨率高、样品准备简单，应用范围从无机材料扩展到生物材料，从大气环境扩展到生理溶液环境，从形貌信息扩展到杨氏模量数据。近年来，原子力显微镜开始与超高分辨率光学显微镜进行联用，在原子力显微镜得到三维形貌结构、杨氏模量的同时，还可以得到超高分辨的荧光数据，获得生物过程的信息。

讲座四：大样品台纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR的应用

布鲁克公司于美国加州时间2021年10月18日发布了基于大尺寸样品台的纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR。该系统集成了业界优秀的Dimension Icon原子力显微镜系统和nanoIR系统中的AFM-IR技术，在化学成像极限分辨率突破10 nm的同时提供大尺寸样品台的解决方案，在化学和材料性能成像领域建立了新标准。

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布鲁克纳米表面仪器部

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