Science又拿一稿，滨松SLM参与飞秒激光极端制造新突破

滨松中国

2022.1.26

滨松光子学商贸（中国）有限公司

这刚一开年，浙江大学就传来了喜讯，拿下了其新一年顶级学术期刊发稿的“frist blood”。
1月20日，浙大邱建荣教授团队与之江实验室谭德志博士团队合作，在Science发表了题为“Three-dimensional directlithography of stable perovskite nanocrystals in glass”的文章，研究报告了具有可调成分和玻璃带隙的钙钛矿纳米晶体（PNCs）的三维 (3D) 直接光刻。

研究团队发现了飞秒激光诱导的空间选择性微纳分相和离子交换规律，开拓了飞秒激光三维极端制造新技术，首次在特别制备的均匀无色透明的玻璃材料内部，实现了带隙可控的三维半导体纳米晶结构，为光存储、微型发光二极管等提供了新的方向。实验比较详细的介绍，可以看看这篇浙大官微的文章《一把飞秒激光“刀”，刻出新世界！浙大成果登上<科学>》，其中也包括了一些邱教授的采访内容。

正如上面的比喻一样，飞秒激光就如一把锋利的“刻刀”，但是要想实现精密的“雕刻”，“主刀的手”至关重要。在诸多的影响因素中，空间光调制器（SLM）是关键之一。
为了能充分发挥“刻刀”的性能，SLM首先需要承受住高强度的激光，也就是具有抗强光特性，同时还要保证极高的光利用率，减少光损失，别让“利刃”变“钝”了。 研究团队在实验中，选用了滨松空间光调制器 X13138。论文中提到拥有1280 ×1024像素的SLM X13138，其光利用率高达90%以上（有实测显示可达97%），实验使用了2500 mW的激光，通过SLM调制出一个3 × 3的激光点阵，以9道独立的激光光束聚焦至玻璃内部，进行了多点加工。

▲ 论文原文

▲ 滨松SLM X13138 除了在关键的加工环节使用了滨松产品外，实验在PNCs的量子效率测量环节，还选用了滨松绝对量子产率测量仪Quantaurus-QY Plus C13534-11。（点击了解产品）

▲ 论文原文
滨松早在1980年就开始了对空间光调制技术的研究，历经3代技术，2000年后推出了高精度纯相位的LCOS-SLM。随着智能制造、量子通信等新兴行业的迅猛发展，无论是在学术研究还是产业中，滨松SLM的应用越来越广阔，随着用户的不断增加，需求的不断升级、变化，我们自身的技术也得到了不断地改进，推出了更高光利用率、更高光阈值、更紧凑、满足更多不同应用场景需求的SLM产品。