中国科大理化科学实验中心仪器上新，国产扫描电镜SEM3100开放试运行

国仪量子+

2022.3.15

作者国仪量子

TA的动态

近日，中国科学技术大学理化科学实验中心发布仪器上新公告，扫描电子显微镜SEM3100完成调试，各项指标符合要求，投入试运行。该款扫描电镜由国仪量子自主研发，各项技术指标优越、扩展性强、用户体验极佳，将为“中心”提供高性能的检测分析工具，也为国产科学仪器的发展起到示范作用。

国仪量子扫描电镜SEM3100交付现场

试运行开放方式

试运行期间免费，有测试需求的老师和同学请与机组联系。

联系方式

付圣权

李明

周宏敏

Lab128

0551-63606441

itisme@ustc.edu.cn

中国科学技术大学理化科学实验中心是中国科学技术大学公共技术创新平台实验中心之一，从1979年开始筹建。中心以“集中投入、统一管理、开放公用、资源共享”为建设原则，以建立条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源和共享机制为建设目标，为培养创新人才和开展高水平科学研究工作提供技术支撑，为社会经济建设提供技术保障。作为学校最早建成的大型仪器开放平台，中心不仅承担着相关院系、国家研究中心、国家重点实验室，省部级实验室以及国家、省部级等各类科研项目的技术支持分析测试任务，同时，也对相关学科提供教学、科研实验条件与环境。

中国科学技术大学理化科学实验中心

钨灯丝扫描电子显微镜SEM3100

国仪量子钨灯丝扫描电子显微镜SEM3100

国仪量子钨灯丝扫描电子显微镜SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜，拥有可达3nm分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调，在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深，成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式，可容纳最大直径为370 mm的样品，极大地扩展了SEM3100的应用范围。

丰富的扩展性

扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察，还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓，接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，诸如电子背散射衍射（EBSD）、波谱仪（WDS）、阴极荧光（CL）等探测器都可以在SEM3100上进行集成。

背散射探测器

二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下，样品的荷电效应明显减弱，并且具有很好的成分衬度，适合进行成分观察。