碳化硅等宽禁带半导体(SiC, GaN, Ga2O3, AlN, 金刚石等)近年来已成为全球高新技术领域竞争的战略制高点和国际半导体及材料领域研究和发展的热点。APCSCRM作为亚太地区宽禁带半导体产业与学术并重的高水平论坛之一,广泛地涵盖了宽禁带材料及相关器件的多学科主题,包括晶体及外延生长、材料特性、功率和光电子器件、封装模块、系统解决方案和应用等内容。
Park展位号:44
本次会议于2022年11月15-16日将在江苏省徐州市博顿温德姆酒店举办第三届亚太碳化硅及相关材料国际会议。本会议由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、中国科学院物理研究所、中国电子材料行业协会半导体材料分会、SEMI(国际半导体产业协会)和中国晶体学会联合主办,江苏天科合达半导体有限公司承办,参会规模500余人。
Park原子力显微镜作为本次会议赞助商将携新品Park NX-Mask新品亮相本次展会。Park NX-Mask是一台专为EUV和In-Line打造的光掩膜缺陷修复设备,它配有最先进的原子力显微镜光掩膜缺陷修复系统,适用于高端EUV半导体制造以及掩膜修复fab。
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