T/CSTM 00003-2019
二维材料厚度测量 原子力显微镜法

Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force microscopy (AFM)


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T/CSTM 00003-2019

标准号
T/CSTM 00003-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CSTM 00003-2019
 
 
本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。 本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。

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