SJ/T 10584-1994
微电子学光掩蔽技术术语

Glossary of photomasking techniques for microelectronics

SJT10584-1994, SJ10584-1994


SJ/T 10584-1994 中，可能用到以下仪器设备

 

动态干燥度分析仪

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大昌华嘉科学仪器

 

稳定性分析仪(多重光散射仪)

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大昌华嘉科学仪器

 

JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

JEM-2100F 场发射透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

HF-3300场发射透射电子显微镜

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

冷场发射球差校正透射电镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

工业级浸入式光谱吸收探头

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海洋光学亚洲公司

 

光纤准直器

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海洋光学亚洲公司

 

反射测量参考白板

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海洋光学亚洲公司

 

光束位置感应热电堆功率传感器

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海洋光学亚洲公司

 

Chroma光学产品

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海洋光学亚洲公司

 

Chroma光学产品（一）

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海洋光学亚洲公司

 

显微拉曼光谱仪 MR系列

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上海如海光电科技有限公司

 

漫反射标准板WR-D97-30/WR-D97-30-STD

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上海如海光电科技有限公司

 

光电探测器

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

相干接收模块

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

干涉仪/光纤放大器/电压放大器

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

EO物镜

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

Nikon物镜

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

HP系列定焦镜头

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

光纤跳线

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

ATR衰减全反射探头

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

单光程透射吸收探头

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

双光程透射吸收探头

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

定制光学产品

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

表面光洁度

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

彩色和灰度测试目标

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

图像分析测试目标

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

失真测试目标

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

分辨率测试目标

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江阴韵翔光电技术有限公司

 

D50系列实验室器皿清洗机

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北京普析通用仪器有限责任公司

 

日本电子TP 系列 高频感应等离子体发生器

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日本电子株式会社(JEOL)

 

玻璃器皿清洗机

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北京中科科尔仪器有限公司

 

可调节波形的超声波清洗机

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北京中科科尔仪器有限公司

 

10升数字超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

25升超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

7升数字超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

10加仑高容量超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

带机械定时器的不锈钢超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

多频率超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

3升超声波清洗器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

激光单粒子效应模拟测量系统

激光单粒子效应模拟测量系统

北京欧兰科技发展有限公司

 

JEM-1400Plus 透射电子显微镜

JEM-1400Plus 透射电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

JEM-2200FS 透射电子显微镜

JEM-2200FS 透射电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

JEM-2100 透射电子显微镜

JEM-2100 透射电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

H-9500透射电子显微镜

H-9500透射电子显微镜

天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

ZEISS蔡司LIBRA能量过滤式透射电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Tecnai G2 Spirit 120kV透射电子显微镜

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赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

Tecnai G2 20 200kV透射电子显微镜

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赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

SJ/T 10584-1994
标准号
SJ/T 10584-1994
别名
SJT10584-1994
SJ10584-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10584-1994
 
 
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

SJ/T 10584-1994相似标准

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 CSN 35 8009-1988 微电子技术系统．术语 GB/T 27668-2023 显微镜 光学显微术术语 GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

SJ/T 10584-1994 中可能用到的仪器设备

透射电镜TEM 其它光学测量仪 光学仪器组件 其它物性测试仪器 电子束刻蚀 洗瓶机、清洗机 等离子体表面处理仪 化学合成仪 半导体专用检测仪器设备

谁引用了SJ/T 10584-1994 更多引用

GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范


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