SJ/T 10584-1994
微电子学光掩蔽技术术语

Glossary of photomasking techniques for microelectronics

SJT10584-1994, SJ10584-1994


SJ/T 10584-1994 中，可能用到以下仪器

 

JBX-3050MV 电子束光刻系统

JBX-3050MV 电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

JBX-6300FS 电子束光刻系统

JBX-6300FS 电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

JEBG系列大功率电子枪

JEBG系列大功率电子枪

日本电子株式会社(JEOL)

 

RF-120系列高频电源

RF-120系列高频电源

日本电子株式会社(JEOL)

 

TP 系列 高频感应等离子体发生器

TP 系列 高频感应等离子体发生器

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪

BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪

日本电子株式会社(JEOL)

 

JBX-9500FS电子束光刻系统

JBX-9500FS电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS-80020CPPS等离子体源

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日本电子株式会社(JEOL)

 

JEBG 系列大功率电子枪・电源

JEBG 系列大功率电子枪・电源

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉

BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS/JST系列电子枪/电子束蒸镀的高压电源

BS/JST系列电子枪/电子束蒸镀的高压电源

日本电子株式会社(JEOL)

 

JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

TP-99010FDR 粉末供应装置（材料生成）

TP-99010FDR 粉末供应装置（材料生成）

日本电子株式会社(JEOL)

 

TP-99010FDR 粉末供应装置（成膜）

TP-99010FDR 粉末供应装置（成膜）

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS-04 系列 旋转式传感器

BS-04 系列 旋转式传感器

日本电子株式会社(JEOL)

 

JBX-3200MV电子束光刻系统

JBX-3200MV电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-3050MV 电子束光刻系统 用于制作45nm～32nm 节点的掩模版

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-3050MV 电子束光刻系统

日本电子JBX-3050MV 电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子RF-120系列高频电源 蚀刻

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子TP 系列 高频感应等离子体发生器 能将颗粒微细化到纳米级

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统 节省空间

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉 可搭载两台电子枪

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

日本电子JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-9500FS电子束光刻系统

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-6300FS 电子束光刻系统 光子器件

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子RF-120系列高频电源 离子镀等薄膜制造和加工

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子RF-120系列高频电源 溅射

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 氧化物

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-6300FS 电子束光刻系统

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 金属

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子TP 系列 高频感应等离子体发生器 没有电极

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子RF-120系列高频电源 CVD

日本电子RF-120系列高频电源 CVD

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子RF-120系列高频电源

日本电子RF-120系列高频电源

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子TP 系列 高频感应等离子体发生器

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉 可以安装3种类型的坩埚

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 化合物

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JBX-9500FS电子束光刻系统 光子器件

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 升华性物质

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子TP-99010FDR 粉末供应装置（成膜）

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JEBG系列大功率电子枪・电源 真空蒸镀

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JEBG系列大功率电子枪 真空蒸镀

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JEBG系列大功率电子枪・电源

日本电子JEBG系列大功率电子枪・电源

日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JEBG系列大功率电子枪 真空熔解

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS-80020CPPS等离子体源 表面改性

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源 促进薄膜氧化

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子TP-99010FDR 粉末供应装置（成膜） 热喷镀

日本电子TP-99010FDR 粉末供应装置（成膜） 热喷镀

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日本电子TP-99010FDR 粉末供应装置（材料生成） 热喷镀

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SJ/T 10584-1994
标准号
SJ/T 10584-1994
别名
SJT10584-1994
SJ10584-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10584-1994
 
 
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

SJ/T 10584-1994相似标准

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 CSN 35 8009-1988 微电子技术系统．术语 GB/T 27668-2023 显微镜 光学显微术术语 GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

SJ/T 10584-1994 中可能用到的仪器设备

透射电镜TEM 其它光学测量仪 光学仪器组件 其它物性测试仪器 电子束刻蚀 洗瓶机、清洗机 等离子体表面处理仪 化学合成仪 半导体专用检测仪器设备

谁引用了SJ/T 10584-1994 更多引用

GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范


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